グレーティングモード型SAW共振器の製作法と電圧制御発振器への応用
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概要
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高C / N, 広帯域VCOに用いる15°YX-LiNbO_3グレーティングモード型SAW共振器の最適な電極指形状を明らかにした。SAW共振器はレイリー波によるスプリアス応答等を完璧に抑圧する必要があるが、そのインピーダンス特性は電極指線幅、電極指膜厚の変動に対応して極めて敏感である。シミュレーションと実験から、電極指の変動を厳しく抑える加工精度が要求されることを示し、要求仕様を満足するためのプロセス高精度化の検討を行なった。電極指膜厚の厚い本SAW共振器においては、ホトレジスト工程に反射防止膜を導入し、電極指材料にはAl-Cu合金を用いることで良好なインピーダンス特性が得られることを示した。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 2000-01-19
著者
-
疋田 光孝
(株)日立製作所中央研究所
-
疋田 光孝
日立製作所
-
磯部 敦
株式会社 日立製作所 中央研究所
-
浅井 健吾
日立中研
-
住岡 淳司
日立電子
-
多田 剛
日立デバイスエンジニアリング(株)
-
浅井 健吾
(株)日立製作所中央研究所
-
磯部 敦
(株)日立製作所中央研究所
-
礒部 敦
(株)日立製作所中央研究所
-
浅井 健吾
日立製作所中央研究所
-
礒部 敦
日立製作所中央研究所
-
多田 剛
(株)日立デバイスエンジニアリング
-
浅井 健吾
株式会社 日立製作所 中央研究所
-
住岡 淳司
株式会社 日立国際電気
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