有限要素-解析解結合法による新モード型SAWの探索とその移動通信用デバイスへの応用 (最近の超音波応用デバイス論文特集)
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概要
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有限要素-解析解結合法を用いたシミュレーションと実験により,2種類の新モード型SAWの検討を行った.はじめに171°YZ'-LiNbO_3において,波長換算Al膜厚0.084のグレーティング構造に,高音速,高Qの縦波型漏洩SAWが存在することを明らかにした.音速は6100∼6500m/s,Q値は共振/反共振点共に4000以上(計算値)と優れた特性を有し,高周波SAWデバイスに適する.次に,15°YX-LiNbO_3において,波長換算Al膜厚0.125のグレーティング構造に,横波型のグレーティングモードSAWが存在することを明らかにした.k^2が28.5%と非常に大きな値を有し,電圧制御発振器用SAW共振器に適している.本SAWを用いて,移動通信用400MHz帯と170MHz帯SAW-VCOを試作した.400MHz帯では,周波数可変幅54MHz(3.2%/V),位相雑音<-115dBc/Hz@25kHz,170MHz帯では,24MHz(3.4%/V),<-126dBc/Hz@25kHzと優れた特性を得た.
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1999-12-25
著者
-
疋田 光孝
(株)日立製作所中央研究所
-
磯部 敦
株式会社 日立製作所 中央研究所
-
浅井 健吾
(株)日立製作所中央研究所
-
磯部 敦
(株)日立製作所中央研究所
-
礒部 敦
(株)日立製作所中央研究所
-
礒部 敦
日立製作所中央研究所
-
浅井 健吾
株式会社 日立製作所 中央研究所
-
住岡 淳司
株式会社 日立国際電気
-
住岡 淳司
(株)日立電子
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