P2-C-3 RFマグネトロンスパッタ法によるFBARフィルタ用AIN薄膜の作製(バルク波・表面波デバイス,ポスターセッション2(概要講演))
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概要
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- 超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウム運営委員会の論文
- 2003-11-12
著者
-
柴垣 信彦
(株)日立製作所中央研究所
-
疋田 光孝
(株)日立製作所中央研究所
-
疋田 光孝
日立中研
-
小林 信康
株式会社日立メディアエレクトロニクス
-
松本 久功
日立中研
-
浅井 健吾
日立中研
-
小林 信康
日立メデイアエレ
-
柴垣 信彦
日立中研
-
浅井 健吾
(株)日立製作所中央研究所
-
浅井 健吾
株式会社 日立製作所 中央研究所
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