A-11-3 AlN薄膜を用いた径伸縮振動子に発生する高次モード(A-11.超音波,一般セッション)

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概要

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• 2011-08-30

著者

• 磯部 敦

  株式会社 日立製作所 中央研究所

• 浅井 健吾

  日立中研

• 浅井 健吾

  (株)日立製作所中央研究所

• 礒部 敦

  (株)日立製作所中央研究所

• 礒部 敦

  日立製作所中央研究所

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