圧電・超音波材料 電極形状によるBAW共振器の周波数調整手法の検討
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概要
著者
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磯部 敦
株式会社 日立製作所 中央研究所
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浅井 健吾
日立中研
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浅井 健吾
(株)日立製作所中央研究所
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磯部 敦
(株)日立製作所中央研究所
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礒部 敦
(株)日立製作所中央研究所
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礒部 敦
日立製作所中央研究所
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