Al/LiNbO_3におけるグレーティングモード広帯域SAW共振器
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概要
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圧電基板内部に仮想境界を設定した有限要素-解析解結合法[1]を用い, 広可変幅の電圧制御発振器用弾性表面波共振器の検討を行った。YカットX伝搬LiNbO_3(YX-LN)基板に一様なAl膜を形成した場合, 弾性表面波(SAW)の結合係数はAu膜[2]の1/3程度と小さい。しかしグレーティング構造では, 比帯域幅が極めて大きい(12%以上)SAWが発生, 広帯域共振器を実現できる事を, シミュレーションと実験により見出したので報告する。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1997-03-06
著者
-
田窪 千咲紀
(株)日立製作所中央研究所
-
疋田 光孝
(株)日立製作所中央研究所
-
磯部 敦
株式会社 日立製作所 中央研究所
-
浅井 健吾
(株)日立製作所中央研究所
-
磯部 敦
(株)日立製作所中央研究所
-
礒部 敦
(株)日立製作所中央研究所
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礒部 敦
日立製作所中央研究所
-
浅井 健吾
株式会社 日立製作所 中央研究所
-
田窪 千咲紀
(株)日立製作所 中央研究所
-
住岡 淳司
株式会社 日立国際電気
-
住岡 淳司
日立電子株式会社
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