PC20 高周波SAWデバイス用薄膜電極形成法の検討(ポスタセッションC-概要講演・展示)

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概要

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• 超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウム運営委員会の論文
• 1993-12-07

著者

• 疋田 光孝

  (株)日立製作所中央研究所

• 疋田 光孝

  日立中研

• 浅井 健吾

  日立中研

• 多田 剛

  日立デバイスエンジニアリング(株)

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