LiNbO_3の縦波形漏洩弾性表面波の共振器特性 : 有限要素-解析解結合法による解析
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概要
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近年発見された高音速の縦波形漏洩弾性表面波を用いて共振器形SAWフィルタを作製する場合、挿入損失、急峻性、減衰量をとるため、共振器の共振周波数のQ値(Or)及び反共振周波数のQ値(Oa)を充分に大きくする必要がある。我々は、先に発表した有限要素-解析解結合法を用いた弾性表面波共振器の解析ツールを用い、OrとOaの検討を行った。その結果、171度回転YカットZ伝搬二オブ酸リチウムにおいて、特定のAI電極膜厚のときに存在する高音速の縦波形漏洩弾性表面波を新たに見出したので報告する。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1996-09-18
著者
-
疋田 光孝
(株)日立製作所中央研究所
-
磯部 敦
株式会社 日立製作所 中央研究所
-
疋田 光孝
日立中央研究所
-
浅井 健吾
日立中央研究所
-
礒部 敦
(株)日立製作所中央研究所
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礒部 敦
日立製作所中央研究所
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磯部 敦
日立中央研究所
-
浅井 健吾
株式会社 日立製作所 中央研究所
-
田窪 千咲紀
(株)日立製作所 中央研究所
-
田窪 千咲紀
日立中央研究所
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