松本 久功 | 日立中研

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概要

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• 浅井 健吾

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• 浅井 健吾

  (株)日立製作所中央研究所

• 柴垣 信彦

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• 疋田 光孝

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• 磯部 敦

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著作論文

• P2-C-3 RFマグネトロンスパッタ法によるFBARフィルタ用AIN薄膜の作製(バルク波・表面波デバイス,ポスターセッション2(概要講演))
• B-3 BAW共振器の周波数特性と電極形状の関係(バルク波デバイス)

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