STARCにおけるLSIの故障診断の先端研究(<特集>LSIのテスト・評価技術)
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概要
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近年の半導体の微細化,高集積化に伴い,LSIのテスト,故障診断の重要性が増している.そのため,テスト,故障診断技術の研究開発が活発に行われてきている.本稿では,筆者の所属する(株)半導体理工学研究センターで研究開発を行っているテスト・故障診断技術の概要紹介を行う.さらに,その中でも故障診断技術における最近の研究成果について紹介する.
- 日本信頼性学会の論文
- 2009-10-01
著者
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