25pPSB-36 遷移金属酸化物の反応性プラズマイオンエッチング : 第一原理計算に基づくプロセスデザイン(25pPSB 領域9ポスターセッション,領域9(表面・界面,結晶成長))
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概要
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- 社団法人日本物理学会の論文
- 2006-08-18
著者
-
秋永 広幸
産総研ナノ機能合成プロ
-
秋永 広幸
産総研
-
秋永 広幸
産業技術総合研究所
-
高野 史好
産総研
-
秋永 広幸
産総研ナノテク
-
笠井 秀明
阪大工
-
島 久
産業技術総合研究所
-
DAVID Melanie
大阪大学大学院工学研究科精密科学・応用物理学専攻
-
ROMAN Tanglaw
大阪大学大学院工学研究科精密科学・応用物理学専攻
-
高野 史好
産業技術総合研究所
-
松本 茂野
阪大工
-
David M.
阪大工
-
Roman T.
阪大工
-
Muhida R.
阪大工
-
Dino Wilson
阪大ナノサイエンス・ナノテクノロジー研究推進機構
-
島 久
産総研
-
国方 伸一
阪大工
-
Dino Wilson
阪大工:阪大理:阪大ナノサイエンス・ナノテクノロジー研究推進機構:dlsu理
-
Dino Wilson
大阪大学大学院理学研究科
-
Muhida R.
大阪大学大学院工学研究科 精密科学・応用物理学専攻
-
MUHIDA Rifki
大阪大学大学院工学研究科 精密科学・応用物理学専攻
-
国方 伸一
阪大院工
-
David Melanie
大阪大学大学院工学研究科 精密科学・応用物理学専攻
-
松本 茂野
大阪大学大学院工学研究科 精密科学・応用物理学専攻
-
Roman Tanglaw
大阪大学大学院工学研究科 精密科学・応用物理学専攻
-
Kasai Haruo
Department Of Electronics Chiba University
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