誘導結合型プラズマによる有機レジストおよびTiマスクを用いたNiFeの反応性イオンエッチング
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概要
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- 2005-12-05
著者
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秋永 広幸
産総研
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秋永 広幸
産業技術総合研究所
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秋永 広幸
産業技術総合研
-
本山 慎一
Samco Inc.
-
金澤 朋実
産業技術総合研究所
-
本山 慎一
サムコ株式会社
-
若山 貴行
産業技術総合研究所
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