カーボンナノチューブ探針を用いた高分解能磁気力顕微鏡観察(<特集>「磁性に関連したセンシング技術の広がりとその最前線」その2-磁気イメージング)
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概要
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Ferromagnetic-film coated carbon nanotube (CNT) probes were successfully fabricated by a radio-frequency sputtering method. The uniform coating on the CNT probes was achieved by improving the sputtering conditions. The performance of the CNT probes was investigated through magnetic force microscopy (MFM) observation of ultra-high-density perpendicular magnetic storage media with densities from 600 to 1100k flux changes per inch. The ultimate lateral resolution of the newly developed MFM probes reached down to 10nm.
- 社団法人日本磁気学会の論文
- 2005-08-01
著者
-
倉持 宏実
ナノ機能合成プロ産総研
-
秋永 広幸
ナノ機能合成プロ産総研
-
秋永 広幸
産総研
-
田中 厚志
(株)富士通研究所ストレージ研究所
-
田中 厚志
富士通研究所
-
秋永 広幸
産総研ナノテク
-
渦巻 拓也
富士通研
-
渦巻 拓也
(株)富士通研究所
-
安武 正敏
ナノ機能合成技術プロジェクト-エスアイアイ・ナノテクノロジー株式会社
-
渦巻 拓也
ナノ機能合成技術プロジェクト-富士通株式会社
-
田中 厚志
ナノ機能合成技術プロジェクト-富士通株式会社
-
渦巻 拓也
富士通研究所
-
田中 厚志
富士通研
-
倉持 宏実
産業技術総合研究所ナノテクノロジー研究部門
-
安武 正敏
ナノ機能合成技術プロジェクト-産総研
-
秋永 広幸
ナノ機能合成プロ-産総研
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