DAVID Melanie | 大阪大学大学院工学研究科精密科学・応用物理学専攻
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概要
関連著者
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秋永 広幸
産総研
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秋永 広幸
産業技術総合研究所
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DAVID Melanie
大阪大学大学院工学研究科精密科学・応用物理学専攻
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David Melanie
大阪大学大学院工学研究科 精密科学・応用物理学専攻
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Kasai Haruo
Department Of Electronics Chiba University
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秋永 広幸
産総研ナノテク
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ROMAN Tanglaw
大阪大学大学院工学研究科精密科学・応用物理学専攻
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高野 史好
産業技術総合研究所
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Dino Wilson
阪大工:阪大理:阪大ナノサイエンス・ナノテクノロジー研究推進機構:dlsu理
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Dino Wilson
大阪大学大学院理学研究科
著作論文
- 密度汎関数理論に基づくTiO_2(アナターゼ)薄膜の反応性イオンエッチングの反応評価
- 25pPSB-36 遷移金属酸化物の反応性プラズマイオンエッチング : 第一原理計算に基づくプロセスデザイン(25pPSB 領域9ポスターセッション,領域9(表面・界面,結晶成長))
- 21pXF-14 Etching Surfaces of Ferromagnetic Materials : Ab-Initio Based Process Design and Realization
- 第一原理計算に基づく反応性イオンエッチングプロセスの設計 : 始めの一歩