228 段付きはりの軸力加振を利用したMEMS光スキャナに関する研究
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概要
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In this paper, a new type drive system of the MEMS(micro electro mechanical systems) resonant-type optical scanner is proposed and researched feasibility of a practical use. In this drive system, scanner mirror is supported with two pairs of stepped beams. When the harmonic axial force is applied to the ends of the supporting beams, torsional vibration of the mirror is excited due to the bending deformation of the beams. The effects of the beam dimensions on resonance frequency, amplitude of rotation angle and maximum value of the first principal stress are investigated by comparing simple theoretical results with FEM-based simulation.
- 社団法人日本機械学会の論文
- 2008-09-02
著者
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