MOVPE成長したInN膜の成長中劣化現象(薄膜プロセス・材料,一般)
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概要
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MOVPE成長InNは成長中に熱劣化現象を起こしていることが確認された。熱劣化する条件は、成長温度(600℃-)と成長時間に依存して基板界面側の結晶から劣化することが明らかになった。またtwist角分布に比べtilt角分布が大きくなる傾向であることから、非等方性に劣化することが明らかになった。このことより、単純に熱だけが原因で劣化するものではないと考えられる。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 2006-11-02
著者
-
杉田 憲一
福井大学工学部
-
橋本 明弘
福井大学工学部
-
橋本 明弘
福井大学大学院工学研究科
-
宝珍 禎則
福井大学大学院工学研究科
-
山本 〓勇
福井大学大学院工学研究科
-
山本 〓勇
福井大学工学部
-
宝珍 禎則
福井大学工学部
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