MOVPE成長InNのフォトルミネッセンス(薄膜プロセス・材料,一般)
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概要
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常圧MOVPE成長のInN膜について、PLスペクトルの測定を行い、試料の成長条件ならびに電気的特性との関係を明らかにするとともに、これまでに報告されているMBE成長InN膜のPLスペクトルとの比較を行った。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 2003-11-04
著者
-
杉田 憲一
福井大学工学部
-
橋本 明弘
福井大学工学部
-
橋本 明弘
福井大学大学院工学研究科
-
山本 〓勇
福井大学大学院工学研究科
-
山本 〓勇
福井大学工学部
-
浜野 裕介
福井大学工学部
-
高塚 浩史
福井大学工学部
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