MOVPE成長InNのtilt、twist角分布の成長条件依存性(化合物半導体デバイスのプロセス技術)

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概要

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• 社団法人電子情報通信学会の論文
• 2006-06-02

著者

• 橋本 明弘

  福井大学工学部

• 橋本 明弘

  福井大学大学院工学研究科

• 宝珍 禎則

  福井大学大学院工学研究科

• 山本 〓勇

  福井大学大学院工学研究科

• 永井 泰彦

  福井大学大学院工学研究科

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