弾性表面波を用いた歪みの測定(センサーデバイス・MEMS・一般)

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概要

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圧電基板の任意の方向に弾性表面波(Surface Acoustic Wave:SAW)を励振した場合、その速度は伝搬方向の歪みに比例して変化する。この特徴を利用すると、SAWデバイスによる歪み測定が可能である。ここで提案するSAWによる歪みセンサは、歪み測定のためのチャンネルを1つ有する1チャンネル遅延線型素子、または、2方向の歪みを測定するために遅延線を直角に交差して設置した2チャンネル遅延線型素子によって構成されている。圧電基板に歪みが生じると、弾性表面波の音速が変化し、遅延線の出力に位相差が生じる。この位相差を計測することで歪み値を得ることができる。実験の結果、歪み量とセンサ出力は比例し、素子で歪みが測定可能であることを示す。また、アンテナを介することで、リモートセンシングが可能であることを示す。
2006-09-01

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