プラズモンアンテナを利用したSiナノフォトダイオード(光波センシング,光波制御・検出,光計測,ニューロ,一般)
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概要
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将来LSIにおける光配線技術に適用することを目的として、表面プラズモンにより増強される近接場光を利用した、高速・高効率な光電変換素子であるSiナノフォトダイオードを検討した.従来、Siを吸収層に用いた場合、量子効率、キャリア移動時間さらには素子の電気容量などの点で、高感度特性と高速性の両立は難しい課題であった.筆者らは、入射光を表面プラズモンに変換して波長以下の領域に効率的に光エネルギーを集めるプラズモンアンテナを開発し、これとナノスケールのSi吸収層を組合せることにより、20ps程度の高速応答特性と10%程度の量子効率を実現した.SiナノフォトダイオードはLSI基板上での高集積化が可能であり、高速大容量な信号伝送を可能とする光配線技術へ適用し、将来のエレクトロニクスの高機能化へとつなげていく予定である.
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 2006-02-10
著者
-
大橋 啓之
日本電気(株)
-
大橋 啓之
NEC
-
西 研一
(株)半導体先端テクノロジーズ技術戦略室
-
藤方 潤一
日本電気(株)
-
石 勉
MIRAI-Selete
-
藤方 潤一
NEC基礎・環境研究所
-
石 勉
NEC基礎・環境研究所
-
西 研一
NEC基礎・環境研究所
-
大橋 啓之
NEC基礎・環境研究所
-
大橋 啓介
MIRAI-Selete
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