表面プラズモンアンテナを用いたシリコンナノフォトダイオード (特集 材料からのブレークスルー)

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概要

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• オプトロニクス社の論文

著者

• 西 研一

  (株)半導体先端テクノロジーズ技術戦略室

• 藤方 潤一

  日本電気(株)

• 石 勉

  MIRAI-Selete

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