6. LSIオンチップ光配線技術(<小特集>次世代コンピュータを支える超高速・超高密度インタコネクション技術)
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概要
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光配線は伝送損や遅延が少なくかつ電磁雑音に強いという大きな利点を持つ.しかし,短距離の電気配線を光配線に置き換えるには,電気信号と光信号の変換素子が十分小さくまたシリコンチップ上に集積可能なプロセスにより製造できるものである必要がある.ここでは,LSI上の光配線を目指して筆者らが開発したSiON光導波路と結合したSiナノフォトダイオード,及びナノ結晶粒セラミックスを用いた超小形電気光学変調器を利用したオンチップ光配徐について紹介する.
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 2008-03-01
著者
-
大橋 啓之
日本電気(株)
-
大橋 啓之
NEC
-
西 研一
(株)半導体先端テクノロジーズ技術戦略室
-
大橋 啓之
(株)半導体先端テクノロジーズ技術戦略室
-
鈴木 信夫
(株)半導体先端テクノロジーズ技術戦略室
-
大橋 啓介
MIRAI-Selete
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