515 ミニチュア金型による熱流速制御(OS7 ナノ・マイクロ加工)
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概要
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This paper introduces a miniature injection mold with diameter 30mm and length 38.5mm, which allows rapid heating and cooling, to optimize the solidification timing by controlling heat flux not spatially but temporally. On the surface of a box shape cavity, sub-micron grooves were machined using Focused Ion Beam. Using this mold we raised the mold temperature upon injection from 100 to 250℃ and time controlled the heal flux. This method allowed us to produce micro features of 3OOnm.
- 社団法人日本機械学会の論文
- 2004-11-19
著者
-
布川 健太郎
Tokyo University
-
土屋 健介
Tokyo University
-
中尾 政之
Tokyo University
-
Nakao Masayuki
Scool Of Engineering The University Of Tokyo
-
中尾 雅之
東京大学工学部付属総合試験所教授連携部門
-
土屋 健介
東大
-
Ma Nan
Grad. Sch. Eng. Osaka Univ.
-
中尾 政之
東大
-
土屋 健介
東京大学大学院工学系研究科
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