離脱機構を有する非把持形マイクロ・ハンドリング工具の試み
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概要
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In order to manufacture micromachines, development of micromanipulation is indispensable. This paper treats micro handling tools as end-effectors of a micromanipulation system, and introduces three prototypes of nontweezing tools : air-sucking, electrostatically charged, and surface-tensional ones. These three can handle microparts (l0 to 500 μm in length). In particular, they can perfectly release the microparts with several methods, such as ultrasonic vibration. Through theiractual usage, we confirm the validity of the tools for micromanipulation.
- 一般社団法人日本機械学会の論文
- 1995-03-25
著者
-
中尾 政之
東京大学工学部研究科機械工学
-
畑村 洋太郎
東京大学工学部
-
佐藤 知正
東京大学先端科学技術研究センター
-
佐藤 知正
東京大学大学院 情報理工学系研究科 知能機械情報学専攻
-
中尾 政之
東京大学工学系大学院総合研究機構連携工学研究プロジェクト
-
石井 和久
東大工
-
中尾 政之
東大
-
石井 和久
東京大学工学部
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