3806 マイクロファクトリにおける熱変形補正に関する研究
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概要
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We developed aφ200mm sized micro factory. It has small heat capacity, becoming sensitive to thermal deformation. In this paper, we introduce a compensation of thermal deformation in a 3-axis translating table of the micro factory using an eddy current sensor instead of a strain gage reported in our previous paper. We can control its position within 0.5μm during 800 seconds in a non-airconditioning room
- 一般社団法人日本機械学会の論文
- 2000-07-31
著者
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