Pt/Pd中間層によるCo-Cr系二層膜垂直記録媒体の粒経制御と熱安定性
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概要
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高Pt添加Co-Cr-Nb-Pt膜を用いて、大きな垂直磁気異方性を有する二層膜垂直磁気媒体を作製した。Pt添加量を18at%とすることで、H_k〜12kOeの膜が得られ、さらにPt(Pd)(複合)中間層を用いることにより、垂直抗磁力、角型比が増加した。また、Pt/Ti複合中間層では、記録層の膜厚を20nm程度と薄くしても垂直抗磁力(H_c⊥)が3000 Oeを越える大きな値がえられ、記録層の成長初期層を薄くできることが分かった。これはオージェ電子分光装置での測定より、記録層の成長初期での酸素混入が抑制されたためであると考えられる。Pt(Pd)層を導入することで記録層の粒経が微細に制御され、かつ結晶性が改善されていることが分かった。また高磁気異方性膜では昇温時のH_c⊥, SQ_⊥の低下が抑制されることも確認した。
- 2001-06-07
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