Gaイオンを用いて作製したCoPtドットのmicro-XMCDによる磁気特性評価(垂直磁気記録及び一般)
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概要
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ミクロンオーダー領域内の磁性ドットアレイを評価するために2.5μmの空間分解能を有するmicro-XMCD(顕微磁気円二色性)を利用した磁気特性評価技術を開発した.そして,この技術をGaイオンを用いたFIB加工により基板中央の8×8μm^2領域にのみ加工したCo_<80>Pt_<20>磁性ドットアレイの磁気特性評価に適用した.連続膜と磁性ドットのそれぞれの領域におけるXMCDヒステリシス測定の結果,それぞれの構造に対応すると考えられるヒステリシス曲線が得られ,この評価技術が微小領域のナノ構造磁性体の磁気測定に有用であることが示された.また,ドットサイズを小さくするにつれてXMCD強度が減少することから,FIB加工時にGaイオンの打ち込みにより,ドットの外周部が磁気的にダメージを受け,磁化を失っていると推察された.
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 2007-05-31
著者
-
近藤 祐治
AIT
-
本多 直樹
秋田県産業技術総合研究センター高度技術研究所
-
近藤 祐治
秋田県産業技術総合研究センター
-
千葉 隆
秋田県産業技術総合研究センター
-
有明 順
秋田県産業技術総合研究センター
-
鈴木 基寛
高輝度光科学研究センター
-
河村 直己
高輝度光科学研究センター
-
河村 直己
高輝度光セ
-
鈴木 基寛
(財)高輝度光科学研究センター
-
本多 直樹
東北工業大学工学部
-
鈴木 基寛
Jasri Spring-8
-
河村 直巳
JASRI
-
高垣 昌史
高輝度光科学研究センター
-
高垣 昌史
高輝度光科学研究センター利用研究促進部門
-
近藤 祐治
秋田県産業技術センター
-
有明 順
秋田県産業技術センター
-
鈴木 基寛
高輝度光科学セ
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