1Tbit/in^2級微細磁性ドットアレイの形状が磁気特性、記録特性に及ぼす影響(ハードディスクドライブ及び一般)
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概要
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1Tbi/in^2級のビットパターン媒体(BPM)作製のための作製プロセスや媒体設計上の課題抽出のため,微細磁性ドットアレイを電子線露光とArイオンミリングを用いて作製し,いくつかのドット形状に関する解析を行なった.ドットサイズの解析では,サイズのばらつきが標準偏差σで1nm程度存在することが明らかとなり,シミュレーション結果と合わせ5kOe程度の異方性磁界の分散に相当することが分かった.ドットピッチの解析では,電子線露光の走査方向,それと直交する方向ともばらつきが5%程度存在した.ドットピッチのばらつきはスイッチング磁界分散(SFD)と比例関係にあるので,これを低減させる必要があることが分かった.また,電子線露光の走査方向の微小のうねりも標準偏差3σで2.6nm程度あり,ドットサイズやそのばらつきを考慮すると,隣接ドットとの静磁気結合が影響し合う値であることが分かった.これらのプロセスに関するばらつきはいずれも磁気特性や記録特性に大きな影響を及ぼす可能性があり,超1Tbit/in^2のBPMを作製するうえでは,安定性や精度の非常に高いプロセスが要求される.
- 2009-11-06
著者
-
近藤 祐治
AIT
-
石尾 俊二
秋田大
-
石尾 俊二
秋田大学工学資源学部
-
近藤 祐治
秋田県産業技術総合研究センター
-
有明 順
秋田県産業技術総合研究センター
-
本多 直樹
東北工業大学
-
本多 直樹
東北工業大学工学部
-
石尾 俊二
秋田大学
-
石尾 俊二
秋田大学大学院工学資源学研究科材料工学専攻
-
近藤 祐治
秋田県産業技術センター
-
有明 順
秋田県産業技術センター
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