軟磁性裏打ち層を有する磁気ドットアレイの磁気特性(磁気記録)
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概要
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Magnetic dot arrays were fabricated by using focused ion beam (FIB) lithography to pattern a continuous CoPt film with the aim of establishing design guidelines for patterned media with a soft magnetic underlayer. First, the magnetic influences of Ga ion irradiation were investigated in order to understand the characteristics of FIB milling. It was found that the implantation of Ga ions in the recording layer or the soft magnetic underlayer seriously affected the magnetic properties. Magnetic dot arrays were then fabricated, taking account of this effect. The switching field of the film drastically increased with the patterning and exhibited a further increase with decreasing dot size. The slope of the remanent magnetization curve decreased considerably as the dot spacing was decreased. The results suggest that patterned media should have a smaller dot size and larger spacing.
- 社団法人日本磁気学会の論文
- 2006-03-01
著者
-
近藤 祐治
AIT
-
本多 直樹
秋田県産業技術総合研究センター高度技術研究所
-
近藤 祐治
秋田県産業技術総合研究センター
-
大内 一弘
秋田県産業技術総合研究センター高度技術研究所
-
本多 直樹
東北工業大学工学部
-
高橋 慎吾
秋田県産業技術総合研究センター
-
大内 一弘
AIT(秋田県高度技術研究所)
-
経徳 敏明
秋田県産業技術総合研究センター高度技術研究所
-
高橋 慎吾
秋田県産業技術センター
-
近藤 祐治
秋田県産業技術センター
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