高垂直抗磁力Co-Cr-Pt薄膜の薄層化 : 垂直磁気記録媒体
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概要
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Effects of intermediate layer and sputtering condition on magnetic properties were studied in Co-Cr-Pt film with high coercivity (H_<c&boiiom;>), large squareness (SQ_<&boiiom;>), and large nucleation field (H_N). An ultrathin Cr intermediate layer was effective in reducing the Co-Cr-Pt film thickness while maintaining high H_<c&boiiom;>. H_<c&boiiom;> as high as 5000 Oe was obtained by low power sputtering at a low substrate temperature. This method is effective in reducing both Co-Cr-Pt film thickness and Ti underlayer thickness.
- 2002-04-01
著者
-
有明 順
秋田県産業技術総合研究センター
-
本多 直樹
東北工業大学工学部
-
本多 直樹
秋田県高度技術研究所
-
大内 一弘
秋田県高度技術研究所
-
経徳 敏明
秋田県産業技術総合研究センター高度技術研究所
-
経徳 敏明
秋田県高度技術研究所
-
有明 順
秋田県高度技術研究所
-
鈴木 淑男
秋田県高度技術研究所
-
鈴木 淑男
秋田県産業技術総合研究センター高度技術研究所
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