高垂直磁気異方性Co-Cr-Pt薄膜媒体の作製
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概要
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5000 Oe以上の高い垂直抗磁力(Hc_⊥)と大きな角型比(SQ_⊥)、および反転磁区生成磁界(H_N)を有するCo-Cr-Ptスパッタ薄膜について、その作製条件、および下地層、中間層が磁気特性に及ぼす影響を検討した。その結果、製膜時のスパッタパワーを下げることにより、比較的低い基板加熱温度で5000 Oe以上の高いHc_⊥を得ることができた。さらに低パワースパッタでは高いHc_⊥を維持したまま、磁性層厚、下地層厚を低減できることを見出した。また、極薄Cr中間層を導入することでも記録層の薄層化が達成できた。
- 2001-05-31
著者
-
有明 順
秋田県産業技術総合研究センター
-
本多 直樹
AIT(秋田県高度技術研究所)
-
大内 一弘
AIT(秋田県高度技術研究所)
-
経徳 敏明
秋田県産業技術総合研究センター高度技術研究所
-
鈴木 淑男
秋田県高度技術研究所
-
鈴木 淑男
秋田県産業技術総合研究センター高度技術研究所
-
鈴木 淑男
AIT(秋田県高度技術研究所)
-
経徳 敏明
AIT(秋田県高度技術研究所
-
有明 順
AIT(秋田県高度技術研究所
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