ビットパターン媒体用1Tbit/in^2級Co-Ptドットアレイの作製(ヘッド・媒体及び一般)
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概要
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ビットパターン媒体作製に関して,イオンエッチング時に生じる磁気的な加工ダメージを軽減するために,低エネルギーイオンによるエッチングプロセスの有効性を検討した.電子線描画と低エネルギーイオンエッチングを用いてCo-Pt磁性ドットを作製し,磁気特性評価を行った.実験結果とシミュレーション結果の比較から,飽和磁化や垂直磁気異方性の劣化はほとんどないことが明らかになり,1Tbit/in^2のBPMを実現する上で,低エネルギーイオンエッチングが有効であることが示された.さらに,30nmピッチのCo-Pt磁性ドットアレイのSEM観察とMFM観察から,磁性ドットが規則配列し,磁気的に孤立していることを確認した.
- 2008-10-02
著者
-
近藤 祐治
AIT
-
石尾 俊二
秋田大
-
保坂 純男
群馬大学 大学院工学研究科
-
石尾 俊二
秋田大学工学資源学部
-
近藤 祐治
秋田県産業技術総合研究センター
-
千葉 隆
秋田県産業技術総合研究センター
-
有明 順
秋田県産業技術総合研究センター
-
田口 香
秋田県産業技術総合研究センター
-
鈴木 基寛
高輝度光科学研究センター
-
河村 直己
高輝度光科学研究センター
-
MOHAMAD Zulfakri
群馬大学
-
長谷川 崇
秋田大学
-
本多 直樹
東北工業大学
-
河村 直己
高輝度光セ
-
鈴木 基寛
(財)高輝度光科学研究センター
-
保坂 純男
群馬大学大学院工学研究科
-
保坂 純男
群馬大学 ; 工学部電気電子工学科
-
本多 直樹
東北工業大学工学部
-
鈴木 基寛
Jasri Spring-8
-
鈴木 基寛
財団法人高輝度光科学研究センター
-
田口 香
秋田県産業技術総合研究センター高度技術研究所
-
河村 直巳
JASRI
-
川村 直己
JASRI SPring-8
-
河村 直已
高輝度光科学研究センター
-
石尾 俊二
秋田大学
-
石尾 俊二
秋田大学大学院工学資源学研究科材料工学専攻
-
近藤 祐治
秋田県産業技術センター
-
有明 順
秋田県産業技術センター
-
鈴木 基寛
SPring-8:JASRI
-
鈴木 基寛
高輝度光科学セ
-
河村 直己
高輝度光科学セ
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