シミュレーションによる高分解能磁気力顕微鏡探針の設計(垂直記録,一般)
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概要
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近年高い分解能が求められている磁気力顕微鏡(MFM)について、高分解能探針の設計を目的として、探針先端形状を種々変化させた探針の伝達関数を計算し、その分解能を検討した。分解能はノイズ源として探針の室温での熱振動を考慮して評価した。その結果、探針先端が楕円形状をもつ探針が高分解能化に適することがわかった。探針先端を平坦形状から楕円状に先鋭化するのに伴い、伝達関数上でMFM信号が零となる空間周波数が楕円率tan45°以上で消滅し、さらに楕円率がtan80°付近でMFM感度が最大となることがわかった。楕円探針は探針厚みによらず高い分解能を有し、また高い空間周波数成分のみならず低い空間周波数成分に対しても高い検出感度を示すことから、高密度磁気記録媒体の観察に適するものと考えられる。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 2003-06-05
著者
-
斉藤 準
秋田大学工学資源学部
-
石尾 俊二
秋田大学工学資源学部
-
アベルマン レオン
トゥエンテ大学
-
ロダー クック
トゥエンテ大学
-
ファン・デン・ボス アーノルト
トゥエンテ大学
-
斉藤 準
秋田大 大学院工学資源学研究科
-
石尾 俊二
秋田大学工学資源学研究科
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