スパッタ法により作製したCo-Pt薄膜の磁気特性およびMFM探針への応用
スポンサーリンク
概要
- 論文の詳細を見る
CoxPtlOO-X (33≦x≦97) thin films were fabricated by RFsputtering method with varioussputtering Ar gas pressure PAr and film thickness t and applied to hard magnetic tips for Magnetic Force Microscopy(MFM). The coercivity Hc of Co-Pt films, which were fabricated under high Pa,, increased in the Coconcentration range beyond 60at.% Co. The maximum value of μ oHc, 0.27T was obtained for the C079Pt21 films with PA,-10.7Pa and t-40nm. X-raydiffractionan alysis revealed that hcp phase exists in the films with high coercivlty. The anisotropy field μ oHa of the hcp phase was estimated about1.0T by singular point detection technique.The high coercivity of the films is attributed to domain wall pinning from the minorloop behavior. The MFM tips with Co79 Pt21 films on Si can tilevers gave finer contrastin MFM images than commercial CoCr MFM tips for magnetic recording media.
- 秋田大学の論文
著者
関連論文
- 磁気力顕微鏡を用いた垂直磁気記録媒体の高分解能・面内磁場勾配イメージング(ヘッド・媒体および一般)
- ビットパターン媒体用1Tbit/in^2級Co-Ptドットアレイの作製(ヘッド・媒体および一般)
- ビットパターン媒体用1Tbit/in^2級Co-Ptドットアレイの作製(ヘッド・媒体及び一般)
- 磁気力顕微鏡を用いた垂直磁気記録媒体の高分解能・面内磁場勾配イメージング(ヘッド・媒体及び一般)
- 低エネルギーイオンエッチングを用いたビットパターン媒体用1Tdot/in2級 Co-Ptドットアレイの作製
- 1Tbit/in^2級微細磁性ドットアレイの形状が磁気特性、記録特性に及ぼす影響(ハードディスクドライブおよび一般)
- 1Tbit/in^2級微細磁性ドットアレイの形状が磁気特性、記録特性に及ぼす影響(ハードディスクドライブ及び一般)
- 垂直磁気記録媒体の反転磁界分布と記録再生特性(垂直磁気記録及び一般)
- L1_0型FePt薄膜へのGaイオン照射によるA1型不規則相の形成
- 磁場中MFMを用いた島状L1_0 FePt粒子の非対称磁化過程の観察
- 磁場中MFMを用いた島状L1_0FePt粒子の初期磁化過程の観察
- Morphology and domain characteristics observed by magnetic force microscopy for L1_0 FePt films
- 優秀研究賞 磁気力顕微鏡を用いたドット・パターンの磁化反転過程の研究 (特集 平成21年度日本磁気学会受賞者論文)
- 磁気力顕微鏡を用いたドット・パターンの磁化反転過程の研究
- 磁気力顕微鏡によるパターン薄膜の保磁力分布の解析
- 垂直磁気記録媒体の反転磁界分布と記録再生特性
- 磁気力顕微鏡の高分解能化と高密度磁気記録媒体の磁区構造観察
- 磁場中磁気力顕微鏡を用いた垂直磁気記録媒体の反転磁場評価
- 磁場中磁気力顕微鏡を用いた垂直磁気記録媒体の反転磁場評価(ハードディスクドライブ及び一般)
- 高分解能MFMの開発 : 低ノイズ化と高分解能探針の作製(「磁性に関連したセンシング技術の広がりとその最前線」その2-磁気イメージング-)
- 高分解能MFMの開発 : 探針冷却による低ノイズ化
- 磁気力顕微鏡による単磁区ドット・アレイの磁化容易軸分布の測定
- 磁場中MFMを用いたCo/Pdパターン薄膜の減磁過程観察
- 磁気力顕微鏡によるパターンおよびグラニュラー垂直媒体中の保磁力分布の解析
- 急速加熱熱処理によるFePt薄膜のL1_0規則化
- シミュレーションによる高分解能MFM探針の設計
- MFMを用いたCoPtパターン媒体の磁化過程解析
- シミュレーションによる高分解能磁気力顕微鏡探針の設計
- シミュレーションによる高分解能磁気力顕微鏡探針の設計(垂直記録,一般)
- 磁気力顕微鏡を用いた磁区構造解析技術の最近の動向
- 磁場中MFMを用いたCo/Pdパターン薄膜の磁区観察
- 反射型結像鏡を用いた顕微カー効果磁気計測装置の開発
- 企画の意図 : その1 電子線・粒子線による解析技術(磁性に関連したセンシング技術の広がりとその最前線)
- 本特集企画について
- L1_0 FePtRh薄膜における強磁性-反強磁性相変化を利用したパターニング
- ナノ結晶Fe-Al-Si-M-B (M=V, Nb, Ta)合金薄帯の構造と軟磁気特性
- 医療における最新磁気応用技術
- 磁場中MFMを用いた面内磁気記録媒体における磁気クラスター観察 : 磁気記録媒体
- 微細加工FePt規則合金ドット配列の作製と磁化過程
- 基板温度を変化させたCoX(SiO2)100-Xグラニュラー薄膜における磁区観察とTMR
- Co_X(SiO_2)_グラニュラー薄膜の磁区構造
- Co_X(SiO_2)_グラニュラー薄膜における磁区観察とTMR
- パターンド磁気記録媒体の作製方法と磁気的特性
- 磁場中MFMを用いた面内磁気記録媒体の磁区観察(ハードディスクドライブおよび一般)
- 磁場中MFMを用いた面内磁気記録媒体の磁区観察
- 磁場中MFMによる積層フェリ結合媒体の磁区観察
- MFMによる磁場中磁区観察の試み I(面内磁場)
- 交流勾配磁場を用いたMFM探針の磁化測定
- MFMを用いた磁気記録媒体の表面磁極分布解析法
- MFMによるHc>3 kOeの媒体における磁気クラスター解析
- Hc;2〜3kOeのCoCrTaPt媒体のMFMによる磁気クラスター解析
- Hc ; 2〜3kOeのCoCrTaPt媒体のMFMノイズ解析
- 信号変換を用いたMFM像の解析法
- MFMによるCoCrTa面内記録媒体ノイズの二次元解析
- 長手磁気記録媒体におけるMFM像に及ぼす探針磁化方向の影響および面内磁場解析について (磁気記録媒体)
- 急速加熱熱処理によるFePt薄膜のL1_0規則化
- 組成変調 FePt 薄膜の L1_0 規則化における成膜後熱処理の効果
- 光磁気ディスクのMFM磁区解析と記録再生特性
- イオン注入がFePt薄膜のL1_0規則化に及ぼす影響
- 25a-PS-91 Fe-Co-Ni三元合金の異方性磁気抵抗効果
- MFM信号変換による磁気記録媒体の漏洩磁場解析
- MFM探針伝達関数のMFM信号変換への応用
- MFMにおける測定条件が分解能に及ぼす影響 -MFM探針伝達関数のシミュレーション-
- MFM探針の分解能の伝達関数を用いた評価
- Co-Ni-Fe三元合金単結晶の磁歪および零磁歪組成でのスパッタ薄膜の磁気特性
- MFMを用いた磁性薄膜の磁極分布断層解析法
- 高保磁力Co-Pt磁性探針を用いたMFM観察
- スパッタ法により作製したCo-Pt薄膜の磁気特性およびMFM探針への応用
- スパッタ法により作製したPtCo薄膜の構造と磁気特性
- 31p-PSA-63 Ni-Co, Ni-Fe合金単結晶の異方性磁気抵抗効果
- 光磁気ディスクにおけるMFM像に及ぼす測定条件の影響および記録マークサイズの評価法について
- 光磁気ディスクにおけるMFM像に及ぼす測定条件の影響
- SPD法によるCoCrNbPt垂直磁気記録媒体の異方性磁場評価
- Fe/TbFe/Feサンドウィッチ膜の磁気特性
- DFMを用いた非磁性FeZr薄膜からの磁性ドットの作製
- MFMによる長手磁気記録媒体の面内磁場解析
- 磁気力顕微鏡による磁気記録媒体の磁区構造の解明
- PdCo/Fe二層膜の磁歪
- 磁気力顕微鏡を用いた微細磁区構造解析法およびその高密度磁気記録媒体への適用
- 非接触AFMによるFeZr薄膜からの磁性ワイヤの作製
- レーザ加熱機構を有する局所磁気光学カー効果計測技術の開発(ヘッド・スピントロニクス、一般)