スパッタ法によるFePt系磁性薄膜の作製と磁気特性
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概要
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将来の磁気記録媒体として、結晶磁気異方性の高いFePt系磁性材料に着目し、実用的なガラス基板上での作製と磁気特性の検討を行った。bcc-Cr(100)下地層によりfct-FePt(001)配向制御が可能となること及び高ガス圧スパッタ法により規則化が促進されることを見出し、垂直異方性を有するFePt磁性薄膜を作製することができた。またガラス基板上に直接FePtを堆積した場合、膜の面内及び垂直それぞれの方向に容易軸を持つ薄膜が得られ、角型性に優れる等方性媒体を得ることができた。
- 1997-06-13
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