Co-Cr垂直磁気記録媒体へのY添加効果
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概要
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Co-Cr合金薄膜へのイットリウム添加の効果を調べた。1.4-2.8at%のY添加では、成膜時の基板温度変化において、垂直抗磁力Hc_⊥、異方性磁界Hk_⊥の最大値を示す温度が、Co-Cr膜よりも100-150℃高温側であることが分かった。また、Yを添加することで、最大Hc_⊥が約2800 Oeと、Co-Cr膜の約2300 Oeよりも大きくする効果があった。Hc_⊥の基板温度、膜厚に対するマッピングから、Yを添加すると、2000 Oe以上の高Hc_⊥領域がCo-Crのそれよりも広範囲になり、特に200nmの厚膜でも2000 Oeの高い値を得ることが分かった。Hc_⊥/Hk_⊥はY添加膜が他の添加膜と比べても最も高い値を示した。
- 社団法人映像情報メディア学会の論文
- 1997-11-20
著者
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