電気化学的手法によるCo-Cr系垂直記録媒体の膜構造
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概要
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Co-Cr系合金薄膜は垂直磁気記録媒体として有用な材料であり、粒子内部に微細な組成偏析構造を有することが知られている。この膜構造と材料としての耐食性を電気化学測定法で評価した。Cr含有量が高い程自然電位(E_corr)が高く耐食性が高くなるが、製膜基板温度が高くなると耐食性は低下することがわかった。これはCrの微細偏析による組成分布によるものと考えられる。また、元素添加の効果は小さかったが、膜厚の低減は高い製膜基板温度でも耐食性を高めることがわかった。さらにanode分極曲線からもE_corrと同様の結果が得られ、測定後の表面形態からCo-rich領域の優先溶解による微細な組成偏析構造が観察された。本検討で電気化学測定法が薄膜記録材料の耐食性や膜構造解析にも有用であることがわかった。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 2000-10-05
著者
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