329 TiNi薄膜の形状記憶特性に対するスパッタリング条件依存性 : TiNi形状記憶薄膜によるマイクロアクチュエータの創成(第1報)
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概要
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- 社団法人溶接学会の論文
- 1997-03-15
著者
-
藤本 公三
大阪大学大学院工学研究科
-
仲田 周次
大阪大学工学部
-
仲田 周次
大阪大学大学院工学研究科
-
藤本 公三
大阪大学工学部
-
池田 哲
大分県産業科学技術センター
-
松技 弘憲
大阪大学工学部
-
太田 篤宏
大阪大学工学部
-
仲田 周次
阪大工
-
池田 哲
大分県産業化学技術センター
-
池田 哲
大分県産業創造機構
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