Jet Vapor Deposition法により作製したSiC-MOS構造の電気的特性
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概要
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- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1998-09-07
著者
-
高橋 芳浩
日本大学理工学部
-
高橋 芳宏
日本大学電子工学科
-
高橋 芳浩
日本原子力研究開発機構:日本大学
-
Wang X.W.
Yale University
-
Ma T.P.
Yale University
-
Cui G.J.
Jet Process Corporation
-
Tamagawa T.
Jet Process Corporation
-
Halpem B.
Jet Process Corporation
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