低寄生インダクタンスプローブを用いたナノヘンリーオーダのインダクタンス実測
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概要
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近年の高速動作および多ビット化が進むLSIでは, パッケージリードの微小なインダクタンスに起因する同時切換ノイズが顕在化している. このノイズを予測するためには, リードインダクタンスを含めたLSIの正確な電気的モデル化が必要であり, リードインダクタンスの実測評価が課題となっていた. このようなnHオーダのインダクタンス測定では, 測定プローブに起因する寄生インダクタンスが測定精度を低下させる原因となるため, 4端子対LCRメータ測定を対象とした低寄生インダクタンスプローブを新たに作成して, その誤差要因の解析および測定による精度の確認を行った. LCRメータによる測定では, 測定のために電流印加系および電圧検出系はそれぞれサンプルを含めて閉ループを構成する必要があり, サンプル付近の経路を垂直に配置することにより約5%以内の誤差でインダクタンス測定が可能であることを示した.
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1996-01-25
著者
-
中村 篤
株式会社日立製作所半導体事業部半導体技術開発センタ
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中村 篤
株式会社ルネサステクノロジ生産本部実装・テスト技術統括部実装技術開発部
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中村 篤
(株)日立製作所
-
清水 浩也
(株)日立製作所機械研究所
-
水田 達也
(株)日立製作所機械研究所
-
清水 浩也
株式会社日立製作所機械研究所第3部
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