熱酸化ポーラスシリコンの時間分解フォトルミネッセンス

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概要

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Siを陽極化成後、熱酸化して大気中で安定なポーラスSiを形成した。時間分解フォトルミネッセンス測定(μsec〜msec)の結果に基づいて、その発光メカニズムを考察した。室温ではスペクトルの高エネルギー側ほど発光寿命が短いが、18Kでは逆に高エネルギー側のそれが長くなる。これは、この発光再結合過程が熱活性化プロセスを伴っていることを示唆している。又、発光寿命は励起時間依存性を示し、光生成キャリア数が多いほど発光寿命が長くなることが分かった。熱酸化ポーラスSiからの発光は、量子準位間あるいはそれに付随したエキシトンによる発光ではなく、局在した発光中心を介した再結合である可能性が高い。
社団法人電子情報通信学会の論文
1993-12-10

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