非接触型液質計による溶液の評価

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概要

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超純水や腐食性のHFを使用するUCT洗浄プロセスにおいて、洗浄溶液の評価はクリーンなウエハ表面を実現する上に極めて重要である。しかし、従来の電極を使用し、調製された洗浄溶液を評価すれば、いずれ電極の劣化やそれに起因する洗浄溶液の汚染などが懸念される。そこで、リング電極と単層巻コイルから構成される、測定用電極の劣化の伴わない測定計の開発を試みた。本研究では、この検出器について種々の溶液を用いて詳細な実験を行い、その検出特性につて検討を加えた。その結果、この検出器は共振回路を形成し、溶液の誘電率、導電率および透磁率に応じた共振曲線を与える特性のあることが分かった。また、腐食性の洗浄溶液の濃度測定が可能であることも示唆された。
社団法人電子情報通信学会の論文
1997-08-25

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