機能水による洗浄の基礎 (洗浄・洗剤部会企画特集 洗浄とグリーンケミストリー)
スポンサーリンク
概要
著者
関連論文
- ユーロピウム添加チタン酸バリウムセラミックスの構造と誘電特性
- ウェハ洗浄溶液のラジカル活性に対する超音波照射の影響
- ステンレス表面における微量水分の吸着 -吸着熱および吸着等温式の検討-
- ポリマーブレンド溶液からの多様な巨視的相分離構造の発現
- 酸化電位水に含まれる活性酸素
- パラジウムイオンと銅イオン共存下での液相還元晶析による金属微粒子の調整
- 非接触型液質計による溶液の評価
- 気液並流二重管式懸濁気泡塔におけるガスホールドアップ並びに環状部の循環液流速
- そばの風味を生かす製粉機の開発
- RCA洗浄溶液に生成する活性種の評価
- 活性ラジカル溶液による基板表面洗浄システム
- 電解イオン水を用いた新しい洗浄技術 : TFT-LCDプロセスへの応用
- Flash-MOCVD強誘電体薄膜形成装置の基礎と量産化技術(物性,成膜,加工,プロセス : 強誘電体薄膜とデバイス応用)
- 層状相分離による導電性高分子積層膜の自己組織化的形成
- メガソニック励起超純水による表面清浄化〔含 英文対訳〕
- 薬液と超純水使用量を削減する新しいウェハ洗浄プロセス
- シリコンウエハの装置間輸送 (流体技術の課題)
- ランタンとセリウムを含む高誘電率チタン酸バリウムセラミックスの温度特性
- ウエハ洗浄に新たな道を拓くメガソニック励起超純水
- 機能水による洗浄の基礎 (洗浄・洗剤部会企画特集 洗浄とグリーンケミストリー)
- 機能水を用いた洗浄技術(生活の基本,そして製造・生産に必須の技術 : 洗う技術)
- 溶解ガスを制御した超音波励起超純水のエッチング効果
- 固液系混相流 (固体分散系の流動・混合)
- 円管内を流れるスラリ-の熱伝達に関する研究
- コロナ風の中に水平に置かれた細線および円管からの熱伝達
- 水平面に平行に置かれた円管群のコロナ放電下における熱伝達
- 円管内垂直上昇固液気3相流動
- キッズ・エネルギーシンポジウム2002報告
- 管軸を中心に回転する水平円管内を流れる固液混相流
- 垂直下降固液混相流の熱伝達
- 機能水によるウエハ表面に付着した金属汚染物質の除去
- メガソニック洗浄と今後 (特集:高周波化進む最近の超音波洗浄)
- 解説 超音波照射超純水のラジカル活性
- 次世代半導体工場のトンネル搬送 (特集:次世代半導体工場におけるケミカルフリ-なクリ-ン搬送)
- 天然ゼオライト原石を用いた水素の透過・分離に関する研究
- 気液並流二重管式気泡塔におけるガスホールドアップ並びに液循環流速