超純水中への金属溶解に対する溶存ガス及びプロトンの効果
スポンサーリンク
概要
- 論文の詳細を見る
- 2000-09-07
著者
-
都田 昌之
株式会社ワコム研究所
-
都田 昌之
山形大学工学部物質工学科
-
都田 昌之
山形大学大学院理工学研究科
-
阿久戸 和哉
国立大学法人山形大学大学院理工学研究科
-
阿久戸 和哉
山形大学
-
宍戸 清和
山形大学
関連論文
- 内部熱交換型蒸留塔(HIDiC)パイロットプラントのフローの強化
- 量産性を考慮した強誘電体高密度記録用多結晶薄膜記録媒体(固体メモリおよび一般)
- 量産性を考慮した強誘電体高密度記録用多結晶薄膜記録媒体(固体メモリ及び一般)
- ユーロピウム添加チタン酸バリウムセラミックスの構造と誘電特性
- ウェハ洗浄溶液のラジカル活性に対する超音波照射の影響
- ステンレス表面における微量水分の吸着 -吸着熱および吸着等温式の検討-
- ポリマーブレンド溶液からの多様な巨視的相分離構造の発現
- 酸化電位水に含まれる活性酸素
- パラジウムイオンと銅イオン共存下での液相還元晶析による金属微粒子の調整
- 非接触型液質計による溶液の評価
- 半導体プロセスにおける洗浄技術
- 気液並流二重管式懸濁気泡塔におけるガスホールドアップ並びに環状部の循環液流速
- そばの風味を生かす製粉機の開発
- RCA洗浄溶液に生成する活性種の評価
- 活性ラジカル溶液による基板表面洗浄システム
- 電解イオン水を用いた新しい洗浄技術 : TFT-LCDプロセスへの応用
- Flash-MOCVD強誘電体薄膜形成装置の基礎と量産化技術(物性,成膜,加工,プロセス : 強誘電体薄膜とデバイス応用)
- シリコン酸化膜のウェットエッチング速度
- 超純水中への金属溶解に対する溶存ガス及びプロトンの効果
- 層状相分離による導電性高分子積層膜の自己組織化的形成
- 薬液と超純水使用量を削減する新しいウェハ洗浄プロセス
- ランタンとセリウムを含む高誘電率チタン酸バリウムセラミックスの温度特性
- ウエハ洗浄に新たな道を拓くメガソニック励起超純水
- 溶解ガスを制御した超音波励起超純水のエッチング効果
- 高機能水を用いた洗浄
- コロナ風の中に水平に置かれた細線および円管からの熱伝達
- キッズ・エネルギーシンポジウム2002報告
- 機能水によるウエハ表面に付着した金属汚染物質の除去