Si基板上に成膜したCoCrTa/Cr磁性薄膜の熱処理における下地層へのTi添加効果
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概要
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高密度磁気記録媒体において, 高保磁力・低ノイズ化が求められているが, これまでに熱処理によって粒子間の交換相互作用が減少し, 磁気特性が改善されることが報告されている。そこで, 我々は耐熱性を有するSi単結晶基板を用い, 熱処理による磁気特性改善の検討を試みた。本報告では, 熱処理を施した際に, Cr下地層へ添加したTiの磁気特性に及ぼす影響を中心に検討した。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1997-03-06
著者
-
逢坂 哲彌
早大理工, 材料技術研究所
-
本間 敬之
早大理工, 材研
-
平山 貴邦
早大理工
-
黒川 義昭
早大理工,材研
-
瀧澤 敦尚
早大理工, 材研
-
黒川 義昭
早稲田大学理工学部応用化学科; 各務記念材料技術研究所
-
田口 智一
早稲田大学理工学部応用化学科; 各務記念材料技術研究所
-
田口 智一
早大理工,材研
-
瀧澤 敦尚
早大理工
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