CoCrTa/Cr磁性薄膜のSi(100)基板上への成膜における基板前処理効果
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概要
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- 1996-07-05
著者
-
逢坂 哲彌
早稲田大学理工学部
-
逢坂 哲彌
早稲田大学
-
本間 敬之
早稲田大学
-
平山 貴邦
早大理工
-
黒川 義昭
早稲田大学理工学部
-
黒川 義昭
早稲田大学理工学部応用化学科; 各務記念材料技術研究所
-
田口 智一
早稲田大学理工学部応用化学科; 各務記念材料技術研究所
-
黒川 義昭
早稲田大学 理工学部
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