CoCrTa/Cr磁性薄膜におけるSi基板前処理効果の検討 (<特集>磁気記録媒体)
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概要
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CoCrTa/Cr magnetic films on Si(100) substrates with and without HF pre-treatment were prepared by dc magnetron sputtering. It was found that the coercivity was increased by HF pre-treatment of the Si substrate for Cr underlayers of various thicknesses. The microstructure analyses of the magnetic films using XRD, FE-SEM, and TEM showed that the crystallinity and the orientation of the c-axis in the film plane were enhanced and that the grain size was increased by HF pre-treatment.
- 社団法人日本磁気学会の論文
- 1997-04-15
著者
-
本間 敬之
早稲田大学
-
平山 貴邦
早大理工
-
逢坂 哲禰
早稲田大学理工学部
-
瀧澤 敦尚
早稲田大学理工学部応用化学科
-
黒川 義昭
早稲田大学理工学部
-
黒川 義昭
早稲田大学理工学部応用化学科; 各務記念材料技術研究所
-
田口 智一
早稲田大学理工学部応用化学科; 各務記念材料技術研究所
-
瀧澤 敦尚
早大理工
-
黒川 義昭
早稲田大学 理工学部
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