電気化学的手法により形成した超高記録密度強磁性ナノドットアレイの初期析出過程の解析及び特性評価(固体メモリ・媒体,一般)
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概要
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我々は,電気化学的手法である電解析出法とリソグラフィ技術を用いて,ビットパターンメディア(BPM)への応用を目的とした強磁性ナノドットアレイの形成を試みている.本研究では強磁性体としてhcp-Co-Pt(002)とL1_0-Fe-Ptに着目し,下地層としてhcp-Ru(002)層を用いることで,極薄膜での磁気特性向上を試みた.また,電子線描画法により形成したナノドットパターンに対して電解析出法によりCo-Pt及びFe-Ptを充填し,強磁性ナノドットアレイの形成及び初期析出過程の解析を試みた.その結果Ru下地層を用いることで,形成されたCo-Pt薄膜の保磁力向上,結晶性向上が確認された.電子線描画法を用いたプロセスでは2Tb/in.^2に相当する18nm周期,10nm径のCo-Ptナノドットアレイの形成を確認した.初期析出解析を行なった結果,印加電位によりナノドット内におけるCo-Ptの粒径が制御可能であることが示された.Fe-Ptに関しては,アニール処理によりL1_0構造への相転移が確認され,保磁力の向上が示された.
- 一般社団法人電子情報通信学会の論文
- 2013-07-05
著者
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