励起無水フッ化水素による自然酸化膜の選択的エッチング
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概要
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集積回路の小型化、高集積化に伴い、その作製技術において、シリコン表面上に形成される自然酸化膜の影響が無視できなくなり、自然酸化膜のエッチングの重要性が増している。本研究では、アルゴンリモートプラズマにより間接的に励起した無水フッ化水素によるシリコン自然酸化膜のエッチングにおいて、水素を導入してシリコンに対する選択性を得ることができることを示す。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1998-05-22
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