THz帯低雑音ショットキ・バリア・ダイオードの開発
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概要
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我々は, THz帯で用いられる高感度・低雑音のサブミクロン径Pt/GaAsショットキ・バリア・ダイオード(SBD)の開発を行っている. 今回, このSBD製作プロセスの各工程をSBD雑音の低減化を指標として最適化した. その結果1/f雑音の小さいサブミクロン径SBDの製作に成功した. このSBDをTHz帯の検出器・ミキサーをして使用したときの性能を測定し, また他所で製作されたS BDとの比敷を行った.
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1996-10-18
著者
-
鈴木 哲
仙台電波工業高等専門学校
-
安井 孝成
長岡技術科学大学
-
藤島 寛智
理化学研究所フォトダイナミクス研究センター
-
莅戸 立夫
東北大学電気通信研究所
-
莅戸 立夫
東北大通研
-
莅戸 立夫
理化学研究所
-
山田 巧
名古屋大学大学院工学研究科
-
安井 孝成
理化学研究所フォトダイナミクス研究センター
-
荒沢 正敏
東北大学電気通信研究所
-
山田 巧
光エレクトロニクス研究所
-
鈴木 哲本
東北大学電気通信研究所
-
水野 皓司
NTT光エレクトロニクス研究所
-
山田 巧
NTT光エレクトロニクス研究所
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